Thực hư việc Trung Quốc 'bẻ khóa' thành công máy quang khắc EUV

27/12/2025 20:39 GMT+7

Tại sao Trung Quốc không thể sao chép 'linh hồn' máy quang khắc của phương Tây?

Theo TechSpot, gần đây, thông tin về việc một phòng thí nghiệm bí mật tại Trung Quốc đã sao chép ngược (reverse-engineer) thành công cỗ máy quang khắc EUV - báu vật công nghệ của ASML - đã gây chấn động làng bán dẫn thế giới. Tuy nhiên, khi bóc tách sâu vào vấn đề, thực tế lại là một bức tranh ảm đạm hơn nhiều.

Theo báo cáo điều tra từ chuyên trang công nghệ Tom's Hardware, cái gọi là "bước đột phá" này thực chất đã bị thổi phồng quá mức.

Sự thật về việc Trung Quốc 'bẻ khóa' thành công máy quang khắc EUV - Ảnh 1.

Rộ tin đồn Trung Quốc sao chép thành công máy quang khắc của ASML

ẢNH: CHỤP MÀN HÌNH TECHSPOT

Cỗ máy quang khắc chắp vá của Trung Quốc

Thay vì một hệ thống vận hành hoàn chỉnh, cỗ máy mà Trung Quốc đang sở hữu được lắp ráp một cách chắp vá từ các linh kiện không đồng bộ, đến từ việc thu gom bởi nhiều nguồn khác nhau, như thiết bị thanh lý và thị trường chợ đen linh kiện.

Các báo cáo xác nhận rằng nguyên mẫu này chưa sản xuất được bất kỳ một con chip nào. Nó giống một mô hình trưng bày các bộ phận rời rạc hơn là một dây chuyền sản xuất bán dẫn hiện đại.

Lý do khiến Trung Quốc thất bại nằm ở độ phức tạp khủng khiếp của công nghệ EUV (Extreme Ultraviolet). Hệ thống Twinscan NXE của ASML không phải là thứ có thể sao chép chỉ bằng cách nhìn vào bản vẽ thiết kế. Nó là kết tinh của hàng thập kỷ R&D và chuỗi cung ứng toàn cầu gồm hàng ngàn đối tác từ Mỹ, Âu đến Nhật Bản.

Theo đó, hai rào cản lớn nhất mà Trung Quốc không thể vượt qua gồm:

  • Nguồn sáng Cymer (Mỹ): Hệ thống tạo tia EUV dựa vào plasma từ laser CO2 để bắn vào các giọt thiếc siêu nhỏ. Các bộ phận như máy phát giọt thiếc, bộ nhắm mục tiêu laser hay gương thu thập đều là công nghệ độc quyền cực kỳ khó sao chép.
  • Thấu kính Zeiss (Đức): 'Mắt thần' của hệ thống là các tấm gương đa lớp molypden-silicon của Carl Zeiss, yêu cầu độ chính xác ở cấp độ nguyên tử và lớp phủ hoàn hảo để phản xạ tia cực tím. Zeiss là đơn vị duy nhất trên thế giới làm được điều này và việc tái tạo công nghệ của họ đòi hỏi nhiều năm tiến bộ trong khoa học vật liệu mà Trung Quốc chưa thể bắt kịp ngay lập tức.

Mảnh ghép còn thiếu: Phần mềm và con người

Ngay cả khi Trung Quốc bằng cách nào đó sở hữu được đầy đủ phần cứng (thông qua chợ đen hoặc sao chép), cỗ máy vẫn sẽ là một cục sắt vô tri nếu thiếu phần mềm điều khiển. Phần mềm tích hợp của ASML là thứ kết nối hàng ngàn hệ thống con (động cơ, cảm biến, điện tử) để chúng hoạt động đồng bộ với độ chính xác ở cấp nanomet.

Sự thật về việc Trung Quốc 'bẻ khóa' thành công máy quang khắc EUV - Ảnh 2.

Máy quang khắc EUV của ASML

ẢNH: CHỤP MÀN HÌNH TOM'S HARDWARE

Thêm vào đó, mạng lưới chuyên gia đã ngừng hợp tác với Trung Quốc do lệnh cấm vận. Việc mất đi sự hỗ trợ từ hệ sinh thái tri thức này khiến nỗ lực tự chủ EUV trở nên gần như bất khả thi.

Lối đi nào cho Trung Quốc?

Hiện tại, các nhà sản xuất chip như SMIC đang phải chấp nhận giải pháp tình thế là nâng cấp các máy DUV đời cũ bằng linh kiện tân trang để cố gắng cải thiện hiệu suất. Dù có một số tiến bộ nhỏ, nhưng khoảng cách giữa DUV cải tiến và một hệ thống EUV thực thụ vẫn rất lớn.

Top

Bạn không thể gửi bình luận liên tục. Xin hãy đợi
60 giây nữa.